Àü±â°øÇÐ ½ÇÇè - ¸éÀúÇ× ½ÇÇè(4-point probe¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹Ú¸·ÀÇ ¸éÀúÇ×À» ÃøÁ¤) ·¹Æý
1.½ÇÇè¸ñÀû
¸éÀúÇ×(Sheet Resistance)ÀÇ °³³äÀ» ÀÌÇØÇÏ°í 4-point probe¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹Ú¸·ÀÇ ¸éÀúÇ×À» ÃøÁ¤ÇÏ°í ÃøÁ¤°ª°ú À̷аªÀ» ºñ±³ÇÑ´Ù.
2.¹®Á¦
¸éÀúÇ×ÀÇ Á¤ÀÇ
:ºñÀúÇ×, R:Àüü ÀúÇ×
:¸éÀúÇ×(Sheet resistance)
,
ÀüüÀúÇ×Àº Å©±â¿¡ ¿µÇâÀ» ¹Þ±â ¶§¹®¿¡ ÀúÇ×À» ºñ±³Çϱâ À§Çؼ´Â Å©±â¸¦ ÅëÀÏÇÑ´Ù.
ÇÑ º¯ÀÇ ±æÀÌ°¡ 1cmÀÎ Á¤À°¸éü¸¦ Ç¥ÁØÀ¸·Î ÇÑ´Ù.
ºñÀúÇ× Àº ´ÜÀ§¸éÀû´ç ´ÜÀ§±æÀÌ´ç ÀúÇ×À» ¸»ÇÑ´Ù.
¿©±â¼ ÀüüÀúÇ×°ú ¸éÀúÇ×À» ±¸ºÐÇϱâ À§ÇØ /À» ÇÑ´Ù. ÀÌ´Â ¹°¸®Àû Àǹ̴ ¾ø´Ù.
ºñÀúÇ× Àº ¹°Áú¸¶´Ù °íÀ¯ÀÇ °ªÀ» °¡Áö°í ÀÖ´Ù.
Van der pauw¡¯s method
Van der pauw¡¯s methodÀº ºñÀúÇ× ÃøÁ¤ ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
t : µÎ²² , f(r) : ºñÀ²ÀÇ ÇÔ¼ö
½ÇÇèÀ» ÁغñÇϴµ¥ ÀÖ¾î ½ÃÆí Áغñ µî ÀÏÀÌ ¸¹¾Æ 4 point probe¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù.Van der pauw¡¯s methodÀº 4 point probe¿¡ ºñÇÏ¿© ¹Ú¸·ÀÇ ¸éÀúÇ× ÃøÁ¤¿¡ ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇÁø ¾ÊÁö¸¸ ±¹ºÎ¸éÀÌ ¾Æ´Ñ Àüü¸é¿¡ ´ëÇÏ¿© ºñ±³Àû °£´ÜÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ÃøÁ¤ ŽħÀº ÃÖ¿Ü°û °¡ÀåÀÚ¸® À§Ä¡¿¡¼¸¸ »ç¿ëÇϹǷΠºñ±³Àû 4 point probeº¸´Ù Ç¥¸é¿¡ ¼Õ»óÀ» ÁÖÁö¾Ê´Â ºñÆı«ÀûÀÎ ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
ÃøÁ¤ÇÒ ¶§ ŽħÀü±ØÀ» »ç¿ëÇÏ°í ÃÖ¿Ü°û °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ À§Ä¡½ÃÄÑ¾ß ÃøÁ¤ÀÇ Á¤È®µµ¸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
4 point probe
Àü·ù¸¦ Èê·Á Àü¾Ð°è·Î Àü¾ÐÀ» ÃøÁ¤Çϴµ¥ À̶§ Àü¾ÐÀ» È긮Áö ¾Ê°í Àü·ù¸¦ È긮´Â ÀÌÀ¯´Â Àü¾ÐÀ» È긱 °æ¿ì Á¢ÃËÀúÇ×À¸·Î ÀüüÀúÇ׿¡ ¿ÀÂ÷°¡ »ý±â±â ½±±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. Àü·ù¸¦ È긱 °æ¿ì ¿ÀÂ÷¿¡ ¿µÇâÀ» °ÅÀÇ ¹ÌÄ¡Áö ¸øÇÑ´Ù.
À̶§ 4.53Àº ¹Ú¸·ÀÇ ³ÐÀÌ°¡ ¹«ÇÑ´ë¶ó´Â °¡Á¤ÇÏ¿¡ ³ª¿À´Â °ªÀÌ´Ù.
4 point probe ¿¡ Àü¾ÐÀ» È긮¸é ¿ÀÂ÷°¡ »ý±â´Â ÀÌÀ¯¸¦ º¸ÀÚ. ±×¸² À» º¸¸é Àü·ù¸¦ È긮°í Àü·ù°è·Î Àü·ù¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. À̶§ Àü·ù I¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ·Á¸é Àüü ÀúÇ×Àº RÀ̾î¾ßÇϳª ½ÇÁ¦·Î Àü·ù°è¿¡ ³»ºÎÀúÇ×ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. Àü·ù°èÀÇ ³»ºÎÀúÇ× rÀÌ À̾î¾ß Á¤È®È÷ ÃøÁ¤ÀÌ µÈ´Ù.
°á±¹ Àü·ù´Â
ÇÏÁö¸¸ ±×¸² ÀÇ °æ¿ìó·³ Àü·ù¸¦ Èê·Áº¸ÀÚ. ¿©±â¿¡µµ ¿ª½Ã Àü¾Ð°èÀÇ ³»ºÎÀúÇ×ÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù. ¸¸ÀÏ Àü¾Ð°èÀÇ ³»ºÎÀúÇ× ÀÏ °æ¿ì Àü·ù´Â Àü¾Ð°è¸¦ Áö³ªÁö ¾Ê¾Æ ·Î Á¤È®È÷ ÃøÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¶Ç, 4 point probe¿¡¼ Àü¾ÐÀ» ¾ÈÂÊ¿¡¼ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â 4 point¸¦ ½ÃÆí¿¡ Á¢Ã˽ÃÄ×À» ¶§ Á¢ÃËÀúÇ×ÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù. Àü¾Ð°è´Â ÀúÇ×ÀÇ ¿µÇâÀÌ Å«µ¥ ÀÌ Á¢ÃËÀúÇ×ÀÌ Å¬ °æ¿ì¿¡´Â Àü¾Ð°è·Î ÃøÁ¤°ªÀÌ ¿ÀÂ÷°¡ ¸¹ÀÌ ¹ß»ýÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÀÌ Á¢¡¦(»ý·«)
(À̹ÌÁö¸¦ Ŭ¸¯ÇϽøé È®´ë/¹Ì¸®º¸±â¸¦ º¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.)
[¹®¼Á¤º¸]
¹®¼ºÐ·® : 5 Page
¹®¼Á¾·ù : HWP ¹®¼
ÆÄÀÏÅ©±â : 2 MB
ű×(#) : #Àü±â°øÇÐ #½ÇÇè #¸éÀúÇ× #point #probeÀÌ¿ëÇÏ¿© #¹Ú¸· #ÃøÁ¤
ÀÚ·áNo(pk) : 14061300